，潔凈室操作過程中常見的環(huán)境控制條件。無塵車間的典型相對(duì)濕度目標(biāo)值控制在3050％的范圍內(nèi)，允許誤差在±1％的窄范圍內(nèi)。相對(duì)濕度在40％至60％的范圍內(nèi)也是人類舒適度的適度范圍。濕度太高會(huì)使人感到無聊，濕度小于30％會(huì)使人感到干燥，皮膚破裂，呼吸不適和情緒不快。

　　相對(duì)濕度在35％到40％之間可以作為一個(gè)令人滿意的妥協(xié)

，半導(dǎo)體潔凈室，潔凈室通常使用額外的控制裝置來限制靜電荷的積累。包括腐蝕過程在內(nèi)的許多化學(xué)反應(yīng)的速度將隨著相對(duì)濕度的增加而增加。所有暴露在無塵車間內(nèi)，潔凈室周圍的空氣表面迅速被至少一層單層水覆蓋。當(dāng)這些表面由可與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可加速反應(yīng)。

　　以下與高濕度實(shí)際上減少了潔凈室，潔凈室表面靜電的積聚

。較低的濕度更適合于電荷的積累，并成為潛在的破壞性靜電放電源。當(dāng)相對(duì)濕度超過50％時(shí)，靜電電荷開始迅速消散，但當(dāng)相對(duì)濕度小于30％時(shí)，它可以長時(shí)間保持在絕緣體或不接地表面上。因此，在相對(duì)較高的濕度環(huán)境下，顆粒與表面之間的濃縮水形毛細(xì)力形成粘結(jié)，可以增加顆粒和硅質(zhì)表面的附著力。當(dāng)相對(duì)濕度小于50％時(shí)不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度約為70％時(shí)，它成為顆粒附著力之間的主要力量。

　　二：如何使用管道除濕機(jī)來控制潔凈室的濕度

？

　　除塵器不同級(jí)別的空氣凈化器的空氣過濾器選擇

，布局要點(diǎn)：對(duì)于級(jí)空氣凈化處理，可以使用低效過濾器代替高效過濾器;空氣清潔度100，和級(jí)空氣凈化處理，應(yīng)用于早，中