集成電路無塵車間需不需要加濕機
作者：CEO
時間：2023-01-04
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信息摘要：集成電路無塵車間需不需要加濕機：集成電路無塵車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室
，該無塵車間對環(huán)境潔凈度
、溫濕度、振動
、ESD
、AMC控制等都有一定的要求
。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大
集成電路無塵車間需不需要加濕機
集成電路無塵車間需不需要加濕機：集成電路無塵車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室
，該無塵車間對環(huán)境潔凈度
、溫
濕度、振動
、ESD
、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室
，集成電路制造無塵車間有面積大
、潔凈等級高、溫
濕度控制精度高等特點
。集成電路制造對無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴格的要求
。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環(huán)境下
，而化學(xué)機械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可
。
可以說集成電路無塵車間在對環(huán)境的要求上達到極致，不光只是溫濕度上門有要求
，而且對噪聲
、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求
，尤其是振動的控制
，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計上就要有所要求。
好的潔凈車間設(shè)計不僅能節(jié)省能源
、降低運行成本
、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證?div id="4qifd00" class="flower right">
，F(xiàn)在很多集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)
，這種循環(huán)系統(tǒng)的特色是整個潔凈室由靜壓層、工藝層
、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成
，由FFU提供循環(huán)空氣的動力，將新風(fēng)
、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層
，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外
，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域
，包括
電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等
。
在這個系統(tǒng)中
，溫濕度的控制也被納入管理，由于潔凈
空調(diào)系統(tǒng)的能耗占其中的30%以上
，所以一個節(jié)能安全的溫濕度控制設(shè)備就非常重要了
，特別是濕度控制，因此如何選擇好的濕度控制設(shè)備可以幫助無塵車間進行節(jié)能
，可以更好的控制
空氣濕度，這樣就不會出現(xiàn)境地灰塵，影響產(chǎn)品質(zhì)量
。
濕度控制設(shè)備有很多
，對于FFU循環(huán)系統(tǒng)來說可以選擇
恒濕機，或者是
加濕機
，加濕機的節(jié)能效果很明顯
，而且在防范靜電灰塵的功能上也不弱，所以它成為很多集成電路無塵車間在冬天使用控濕的首選
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