，其空氣熱濕處理過程見圖（一)。
圖一：MAU+RCAU空氣處理過程
3、“MAU+RCAU”系統(tǒng)的優(yōu)勢
3.1在一些溫濕度控制精度較高的的潔凈車間
，每個車間需要獨立設(shè)置空調(diào)機(jī)組
，這些空調(diào)機(jī)組都需設(shè)置新風(fēng)處理功能段等完整的功能段，這樣意味著所有空調(diào)箱五臟俱全
，如果廠房內(nèi)潔凈車間較多時
，空調(diào)箱數(shù)量就很多
，會造成空調(diào)機(jī)房偏大
，投資增加，維護(hù)工作量加大等不利因素
。如果采用新風(fēng)集中處理，再分配給各個空調(diào)凈化系統(tǒng)
，這樣雖然增加了一臺新風(fēng)機(jī)組（MAU)
，但是其他循環(huán)空調(diào)箱（RCAU)均減少了很多功能段，節(jié)省了設(shè)備投資也節(jié)省了空調(diào)機(jī)房面積及機(jī)房外墻新風(fēng)百葉開口數(shù)量
。
3.２在冬季室外氣溫較低的北方地區(qū)新風(fēng)往往要預(yù)熱
，不然與一次回風(fēng)直接混合的時候很有可能產(chǎn)生冷凝水；潔凈車間一般都有濕度要求
，冬季處理過程往往需要加濕空氣，因此白白加大了加濕負(fù)荷
。夏季新風(fēng)含濕量高
，溫度也高，與回風(fēng)直接混合后
，有可能需要多級多排的表冷器來處理
，大大加大了空調(diào)機(jī)組表冷器負(fù)擔(dān)。然而新風(fēng)集中處理后再送入循環(huán)空調(diào)箱與回風(fēng)混合
，減少了循環(huán)空調(diào)箱的功能段及過濾器的更換頻率，降低了循環(huán)空調(diào)箱的風(fēng)機(jī)壓頭
，避免了能源的浪費
。
3.3新風(fēng)作為潔凈室控制的重要污染源，集中預(yù)處理可以強(qiáng)化新風(fēng)的過濾和便于管理
，為潔凈室運行提供更安全的保障
。
3.4采用“MAtJ+RCAU”方式中，新風(fēng)處理到室內(nèi)送風(fēng)露點
，以滿足潔凈室的濕度要求。處理后新風(fēng)通過風(fēng)管送至各循環(huán)空調(diào)箱
，經(jīng)與回風(fēng)混合后再通過表冷或者加熱處理來滿足潔凈室的溫度要求
。這樣使?jié)崈艨照{(diào)系統(tǒng)的濕度和溫度分別由新風(fēng)處理機(jī)組和空調(diào)循環(huán)機(jī)組來負(fù)責(zé)，使溫度和濕度控制具有獨立性及可操作性
，尤其是在潔凈室內(nèi)新風(fēng)量變化時其優(yōu)越性體現(xiàn)得更為明顯
。
4、“MAU+RCAU”系統(tǒng)的控制方案
4.1新風(fēng)機(jī)組（MAU)采用變頻風(fēng)機(jī)
，由總送風(fēng)管上的靜壓傳感器來控制變頻器
。在接入循環(huán)機(jī)組(RCAU)的新風(fēng)支管上均設(shè)置電動調(diào)節(jié)閥，由各潔凈室的正壓值來調(diào)節(jié)電動調(diào)節(jié)閥的開度
，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量的變化而變化
，電動調(diào)節(jié)閥的開度變化引起總送風(fēng)管上的靜壓變化，根據(jù)其設(shè)定值調(diào)節(jié)(MAU)的風(fēng)機(jī)頻率
，來控制新風(fēng)機(jī)組的總送風(fēng)量
；其原理見圖二
。
4.2控制新風(fēng)機(jī)組（MAU)送風(fēng)狀態(tài)點
，使其與潔凈房間的送風(fēng)露點相同，這樣就可以保證凈化車間的濕度要求
。根據(jù)送風(fēng)狀態(tài)設(shè)定值來調(diào)節(jié)
加濕器的電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)和表冷器及加熱器回水管上的電動二通閥的開度
；露點溫度“DPT”由檢查室內(nèi)濕度敏感元件“HE”連續(xù)整定。
4.3凈化生產(chǎn)車間的溫度是由循環(huán)機(jī)組（RCAU)來保證的
，經(jīng)新風(fēng)處理機(jī)處理后的空氣狀態(tài)為潔凈房間的送風(fēng)露點
，新回風(fēng)混合點一定在該潔凈房間的熱濕比線上，根據(jù)室內(nèi)溫度來調(diào)節(jié)表冷器和加熱器回水管上的電動二通閥的開度
。其原理見圖二：
一般情況下
，在電子潔凈廠房中，大部分潔凈室溫濕度要求基本都相同而且也允許一定范圍的波動
，這些車間都可以使用“MAU+RCAU”系統(tǒng)
。但在某些車間具有很大的室內(nèi)產(chǎn)濕量，其熱濕比線并不是一條豎直的直線
，采用新風(fēng)集中預(yù)處理系統(tǒng)就無法滿足要求
！ 新風(fēng)系統(tǒng)在潔凈廠房中的應(yīng)用"/>
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