半導(dǎo)體行業(yè)中的濕度要求
作者：gengxin
時(shí)間：2022-04-06
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信息摘要：半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下
，生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境
，特別是對于生產(chǎn)環(huán)境的溫度
、濕度
、空氣潔凈度
、氣流組織
，壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求
。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求，由于電子產(chǎn)品對靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對其品質(zhì)的影響
，其對濕度的精度提出了嚴(yán)格要求
，對于空調(diào)系統(tǒng)的配置，則要求系統(tǒng)同時(shí)具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能
。...
半導(dǎo)體行業(yè)中的濕度要求
半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下
，生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境，特別是對于生產(chǎn)環(huán)境的溫度
、
濕度、空氣潔凈度、氣流組織
，壓力平衡等多個(gè)
空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求
。有別于其他的
恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求，由于電子產(chǎn)品對靜電的敏感性和
高濕度環(huán)境對其品質(zhì)的影響
，其對濕度的精度提出了嚴(yán)格要求
，對于空調(diào)系統(tǒng)的配置，則要求系統(tǒng)同時(shí)具備夏季
除濕的功能和冬季
加濕的功能
。
一般的
，半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為： T=22 ± 2 ° C ， RH=45 ± 5%
；而對于這個(gè)溫濕度要求
，傳統(tǒng)上經(jīng)常采用
冷凍除濕 + 后加熱（再熱）方式進(jìn)行處理，并取得了一定成果
。但這種方式卻存在著一個(gè)致命問題
，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi)，特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng)
，大排風(fēng)系統(tǒng)
、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況，使得這個(gè)問題十分突出
。
因此
，在最新的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)系統(tǒng)開始使用新風(fēng)通過新風(fēng)機(jī)組（冷卻除濕）和轉(zhuǎn)輪
除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過后空調(diào)機(jī)組處理的組合方式
， 達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫
、濕度要求，并取得了顯著收益
。
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