為什么無(wú)塵車間／潔凈室一定要用除濕機(jī)加濕機(jī)
作者：CEO
時(shí)間：2022-12-10
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信息摘要：近年
，在我們的各行業(yè)里都對(duì)空氣的相對(duì)濕度有嚴(yán)格的規(guī)定
，使我們必需在無(wú)塵車間配置除濕機(jī)
、加濕機(jī)
。但是為什么值得花費(fèi)這么多錢用在無(wú)塵車間
、潔凈室中控制相對(duì)濕度呢
？道理很簡(jiǎn)單
！讓我們先來了解下什么叫無(wú)塵車間：無(wú)塵車間指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣
、細(xì)菌等之污染物排除
，并將室內(nèi)之溫度、濕度
、潔凈度
、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布
、噪音振動(dòng)及照明
、靜電控制...
為什么無(wú)塵車間／潔凈室一定要用除濕機(jī)加濕機(jī)
近年，在我們的各行業(yè)里都對(duì)空氣的相對(duì)濕度有嚴(yán)格的規(guī)定
，使我們必需在
無(wú)塵車間配置
除濕機(jī)、
加濕機(jī)。但是為什么值得花費(fèi)這么多錢用在無(wú)塵車間
、潔凈室中控制
相對(duì)濕度呢
？道理很簡(jiǎn)單！讓我們先來了解下什么叫無(wú)塵車間：
無(wú)塵車間指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子
、有害空氣
、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度
、濕度
、潔凈度、室內(nèi)壓力
、氣流速度與氣流分布
、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)
，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間
。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度
、溫濕度及壓力等性能之特性
。
濕度控制是無(wú)塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對(duì)濕度是無(wú)塵車間
、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件
。半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)
，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)
，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
因?yàn)橄鄬?duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素
，其中包括：
1
、細(xì)菌生長(zhǎng)
；
2、工作人員感到室溫舒適的范圍
；
3
、出現(xiàn)靜電荷；
4
、金屬腐蝕
；
5、水汽冷凝
；
6
、光刻的退化；
7
、吸水性
。
細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒
，真菌
，螨蟲)在相對(duì)濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過30%時(shí)就可以增長(zhǎng)
。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)
，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍
。濕度過高會(huì)使人覺得氣悶
，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺干燥，皮膚破裂
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